通知公告
交大新闻
通知公告 现在的位置：首页 > 通知公告 >
招标公告：能动学院原子层沉积系统采购
发布时间：2015-05-26 11:34:00
公告日期： 2015-5-26~2015-6-4
招标编号：西交采招（2015）S072
项目名称：能动学院原子层沉积系统
招标单位：西安交通大学采购与招标管理办公室
西安交通大学根据国家政府采购法律法规和学校管理要求, 拟以招标方式采购下列货物。
一、招标采购项目内容及数量：原子层沉积系统（2套）
1、技术指标及配置
2套原子层沉积系统，完成氧化物和硫化物原子层沉积的任务。
1.1 样品台
尺寸≥4英寸，向下兼容，可加热至400℃以上。控制精度±0.5℃
1.2 反应腔
高度密封，真空漏率小于5E-7Pa.L/s。烘烤系统可自动控制，腔壁烘烤温度150℃。
1.3 沉积模式
热沉积模式、等离子体增强模式。
1.4 可沉积材料
氧化物 Al2O3、TiO2、Ta2O5、Nb2O5、ZrO2、HfO2、SnO2、ZnO、La2O3、Y2O3, CeO2、Sc2O3、 Er2O3、V2O5、SiO2、In2O3等。
金属: Pt, Ru, Ir, Pd, Cu, Fe, Co, Ni等。
硫化物: ZnS, SrS, CaS, PbS等。
1.5 前驱体源
4路前驱体源，可加热至200℃。配有独立的吹扫气路，厂商提供气路及流量控制和测量部件。
1.6 等离子体源
仪器配置不少于3路自动控制选择的等离子体源，（氩气，氮气，氢气，氧气，氨气，硫化氢可选），质量流量计精度优于1%。
1.7 等离子体发生系统
电源频率13.56MHz，功率0-300W可调，可自动匹配调节。等离子产生腔材质耐腐蚀，可清洗。
1.8 前驱体管路
不锈钢材料，加热温度最大200℃。
1.9 控制硬件
采用NI采集卡或PLC控制系统
1.10 控制软件
用软件全自动控制加热、流量、等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控，所有阀门、功能性部件均可自动控制。
1.11 真空系统
分子泵和机械泵，真空度达2E-6 Torr。
1.12 H2S安全装置
通过关闭阀门，尾气处理等方式保证实验安全，提供H2S泄露报警功能，一旦泄露能及时报警。
1.13 沉积薄膜均匀性
现场测试，沉积氧化铝20~30nm，利用椭偏仪或其他方法进行9点测量，厚度均匀性偏差≤1%。
1.14 ALD阀
配备阀门、隔膜阀，加热温度不低于150℃，可控精度±1℃.
1.15 前驱体及设备的其它附件
厂方随机提供10种以上的前驱体源。在原子层沉积新方法更新方面，厂方应及时向用户通知。
除气瓶外的其它气路部分，厂方负责安装并配备，具体要求如下：不锈钢管，通往设备处每路气源均需设置球阀，减压阀，质量流量计。
排气管路耐腐蚀，配有毒性气体柜、探测器及尾气处理系统。
2、合同条款
1）．安装培训
现场安装培训，并提供免费用户会参加2人次（包括会议费和差旅费），便于用户与同行交流。
2）. 保修期
设备自西安交通大学验收合格之日起3年。仪器出现故障要求12小时响应，7*24小时到现场维修。卖方保证按仪器购买时的相同优惠程度足量供应用户所需的零配件。
3）. 交货期
合同生效后5个月内。
二、投标人的必备资格要求：
（一）投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；
（二） 投标人要具有独立法人资格、税务登记证、相关货物经营许可证，具有良好的企业形象和信誉，良好的银行资信状况；
（三）投标人在近三年内没有违法行为，在以往政府采购活动中没有违规和违约行为。
三、投标报名或资格预审必须提供的文件：
（一）法定代表人授权委托书（加盖公章）；
（二）生产商针对本项目产品授权书原件和各1份复印件；
（三）被委托人身份证原件及法人和被委托人身份证复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）。
（四）货物投标承诺书（供应商注册系统——“资源下载”，需法人签字并加盖公章）
四、投标报名注意事项：
1、凡参与投标的供货商，须在采购办主页“货物类供应商注册”系统中注册并审核通过后，方具备项目投标资格。
2、供货商在报名阶段需从投标单位开立账户转账缴纳报名保证金3000元（大写：叁仟元整），不接受现金，保证金到账后方可报名。招标结束后无违约者如数退还（不计利息）。
户 名：西安交通大学
开户银行：西安市工商行互助路支行
账 号： 3700023509088100314
请于转账后将银行底单发至以下联系人邮箱，并在邮件中注明公司名称、开户行、账号、开户地、投标单位联系人及手机号信息。
3、外地公司不需现场报名，请填写附件中的报名登记表，连同资格预审文件原件的扫描件发至以下联系人邮箱。
五、报名时间：2015年5月26日~2015年6月4日(上午8:30-11:30下午3:00-6:00，国家法定节假日及周三下午除外)
六、 报名地点：西安交通大学采购与招标管理办公室
地址1：西安市咸宁西路28号西安交通大学主楼E座0908室
地址2：西安市咸宁西路28号西安交通大学计算机教学实验中心七楼采购办办公室
报名联系人：柴晓玲
联系电话：029-82663954 82668195
电子邮箱：xlchai@mail.xjtu.edu.cn
邮编：710049
用户单位联系人：郭老师 联系电话：13519143936
欢迎符合条件的供应商参加投标。
注：
投标人须对其所提供资料的真实性、合法性、有效性负责，如有作假，一经发现立即取消投标资格，并将其列入不良行为记录名单，同时在网上进行实名通报，一至三年内禁止参加西安交通大学的采购活动。
报名公司将由采购办按照相关规定进行遴选，没有被遴选入围参与投标的报名公司，恕不另行通知。
西安交通大学采购与招标管理办公室
二零一五年五月二十六日
招标编号：西交采招（2015）S072
项目名称：能动学院原子层沉积系统
招标单位：西安交通大学采购与招标管理办公室
西安交通大学根据国家政府采购法律法规和学校管理要求, 拟以招标方式采购下列货物。
一、招标采购项目内容及数量：原子层沉积系统（2套）
1、技术指标及配置
2套原子层沉积系统，完成氧化物和硫化物原子层沉积的任务。
1.1 样品台
尺寸≥4英寸，向下兼容，可加热至400℃以上。控制精度±0.5℃
1.2 反应腔
高度密封，真空漏率小于5E-7Pa.L/s。烘烤系统可自动控制，腔壁烘烤温度150℃。
1.3 沉积模式
热沉积模式、等离子体增强模式。
1.4 可沉积材料
氧化物 Al2O3、TiO2、Ta2O5、Nb2O5、ZrO2、HfO2、SnO2、ZnO、La2O3、Y2O3, CeO2、Sc2O3、 Er2O3、V2O5、SiO2、In2O3等。
金属: Pt, Ru, Ir, Pd, Cu, Fe, Co, Ni等。
硫化物: ZnS, SrS, CaS, PbS等。
1.5 前驱体源
4路前驱体源，可加热至200℃。配有独立的吹扫气路，厂商提供气路及流量控制和测量部件。
1.6 等离子体源
仪器配置不少于3路自动控制选择的等离子体源，（氩气，氮气，氢气，氧气，氨气，硫化氢可选），质量流量计精度优于1%。
1.7 等离子体发生系统
电源频率13.56MHz，功率0-300W可调，可自动匹配调节。等离子产生腔材质耐腐蚀，可清洗。
1.8 前驱体管路
不锈钢材料，加热温度最大200℃。
1.9 控制硬件
采用NI采集卡或PLC控制系统
1.10 控制软件
用软件全自动控制加热、流量、等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控，所有阀门、功能性部件均可自动控制。
1.11 真空系统
分子泵和机械泵，真空度达2E-6 Torr。
1.12 H2S安全装置
通过关闭阀门，尾气处理等方式保证实验安全，提供H2S泄露报警功能，一旦泄露能及时报警。
1.13 沉积薄膜均匀性
现场测试，沉积氧化铝20~30nm，利用椭偏仪或其他方法进行9点测量，厚度均匀性偏差≤1%。
1.14 ALD阀
配备阀门、隔膜阀，加热温度不低于150℃，可控精度±1℃.
1.15 前驱体及设备的其它附件
厂方随机提供10种以上的前驱体源。在原子层沉积新方法更新方面，厂方应及时向用户通知。
除气瓶外的其它气路部分，厂方负责安装并配备，具体要求如下：不锈钢管，通往设备处每路气源均需设置球阀，减压阀，质量流量计。
排气管路耐腐蚀，配有毒性气体柜、探测器及尾气处理系统。
2、合同条款
1）．安装培训
现场安装培训，并提供免费用户会参加2人次（包括会议费和差旅费），便于用户与同行交流。
2）. 保修期
设备自西安交通大学验收合格之日起3年。仪器出现故障要求12小时响应，7*24小时到现场维修。卖方保证按仪器购买时的相同优惠程度足量供应用户所需的零配件。
3）. 交货期
合同生效后5个月内。
二、投标人的必备资格要求：
（一）投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定；
（二） 投标人要具有独立法人资格、税务登记证、相关货物经营许可证，具有良好的企业形象和信誉，良好的银行资信状况；
（三）投标人在近三年内没有违法行为，在以往政府采购活动中没有违规和违约行为。
三、投标报名或资格预审必须提供的文件：
（一）法定代表人授权委托书（加盖公章）；
（二）生产商针对本项目产品授权书原件和各1份复印件；
（三）被委托人身份证原件及法人和被委托人身份证复印件（原件验后归还，复印件须加盖公章）。
（四）货物投标承诺书（供应商注册系统——“资源下载”，需法人签字并加盖公章）
四、投标报名注意事项：
1、凡参与投标的供货商，须在采购办主页“货物类供应商注册”系统中注册并审核通过后，方具备项目投标资格。
2、供货商在报名阶段需从投标单位开立账户转账缴纳报名保证金3000元（大写：叁仟元整），不接受现金，保证金到账后方可报名。招标结束后无违约者如数退还（不计利息）。
户 名：西安交通大学
开户银行：西安市工商行互助路支行
账 号： 3700023509088100314
请于转账后将银行底单发至以下联系人邮箱，并在邮件中注明公司名称、开户行、账号、开户地、投标单位联系人及手机号信息。
3、外地公司不需现场报名，请填写附件中的报名登记表，连同资格预审文件原件的扫描件发至以下联系人邮箱。
五、报名时间：2015年5月26日~2015年6月4日(上午8:30-11:30下午3:00-6:00，国家法定节假日及周三下午除外)
六、 报名地点：西安交通大学采购与招标管理办公室
地址1：西安市咸宁西路28号西安交通大学主楼E座0908室
地址2：西安市咸宁西路28号西安交通大学计算机教学实验中心七楼采购办办公室
报名联系人：柴晓玲
联系电话：029-82663954 82668195
电子邮箱：xlchai@mail.xjtu.edu.cn
邮编：710049
用户单位联系人：郭老师 联系电话：13519143936
欢迎符合条件的供应商参加投标。
注：
投标人须对其所提供资料的真实性、合法性、有效性负责，如有作假，一经发现立即取消投标资格，并将其列入不良行为记录名单，同时在网上进行实名通报，一至三年内禁止参加西安交通大学的采购活动。
报名公司将由采购办按照相关规定进行遴选，没有被遴选入围参与投标的报名公司，恕不另行通知。
西安交通大学采购与招标管理办公室
二零一五年五月二十六日
上一篇：关于征集120周年校庆摄影展和书画展作品的通知
下一篇：招标公告：教学主楼办公室隔墙、北四号楼及曲江校区西二号楼改造工程
© 2015 《西安交通大学学报》编辑部 地址：西安市咸宁西路28号 邮编：710049
互联网备案号：陕ICP备07500839号