【摘要】对等螺距和变螺距2种螺杆真空泵分别进行了分析，通过能量守恒、质量守恒方程及泄漏模型分别计算了2种真空泵工作过程中的气体压力变化及极限真空度、功耗、抽速等性能参数，由此搭建了真空泵实验系统试验台，展开了双螺杆真空泵压力变化及泄漏的实验研究，分析了2种真空泵性能差别的原因及变螺距螺杆真空泵的优势，并对变螺距真空泵性能进行了实验研究。数值模拟结果表明，变螺距真空泵不论在极限真空压力，还是在指示功率大小方面，均优于等螺距真空泵。实验结果表明，所建物理模型能很好地描述真空泵的实际工作过程，对于所研究的机型，变螺距齿型相对于等螺距齿型，其极限真空压力从3．75Pa降低到2．32Pa，指示功率降低了11％。以上内容在螺杆真空泵设计和改型，以及螺杆真空泵产品开发和性能的预测方面都有指导意义。