采用仿射迭代最近点的晶圆分割方法

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【作者】杨静 [1] 尚夏 [2] 荣海军 [3] 杜少毅 [1]

【关键词】晶圆分割直线检测形状配准仿射迭代最近点

【摘要】针对依赖硬件设施的晶圆分割方法存在生产成本高、工艺复杂且分割效果不稳定的问题,提出以仿射迭代最近点(ICP)算法为核心的基于图像形状配准思想的晶圆分割方法.该方法采用Canny算子提取图像边缘,建立晶圆模板图像与目标图像的特征点集;对目标图像的边缘图像进行基于Hough的直线检测,得到粗略的晶圆矩形边框信息;以矩形左上角的点坐标作为匹配搜索区域的初始值进行基于仿射ICP算法的精确配准,通过晶圆产品图像与模板图像的特征匹配,实现晶圆的快速、准确分割.理论分析及实验结果表明:该方法计算复杂度较低,单独样本分割时间约为0.9s,样本分割精度明显高于其他算法,满足自动化生产线的实时在线检测需求.

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采用仿射迭代最近点的晶圆分割方法

【作者】 杨静 [1] 尚夏 [2] 荣海军 [3] 杜少毅 [1]

【关键词】 晶圆分割 直线检测 形状配准 仿射迭代最近点

【作者】杨静 [1] 尚夏 [2] 荣海军 [3] 杜少毅 [1]

【关键词】晶圆分割直线检测形状配准仿射迭代最近点